【導(dǎo)讀】在過(guò)去的五年里，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）解決方案已經(jīng)穩(wěn)步進(jìn)入由石英晶體解決方案壟斷上百年的頻率控制和定時(shí)產(chǎn)品市場(chǎng)。MEMS技術(shù)最初源于對(duì)更小外形尺寸的追求，目前已呈現(xiàn)出顯著的其他優(yōu)勢(shì)，包括交付時(shí)間、供應(yīng)穩(wěn)定性、產(chǎn)品可靠性、器件尺寸和性?xún)r(jià)比等，這些優(yōu)勢(shì)使基于MEMS的振蕩器占有部分基于石英的頻率控制市場(chǎng)。
依賴(lài)傳統(tǒng)技術(shù)，基于石英的頻率控制設(shè)計(jì)有很多限制，例如需要更高專(zhuān)業(yè)化和復(fù)雜生產(chǎn)流程，基于陶瓷的特殊包裝（如圖1所示），需要密閉可靠的腔體以及片外匹配電容，對(duì)環(huán)境因素敏感，尤其是熱力、沖擊和振動(dòng)，可能導(dǎo)致現(xiàn)場(chǎng)故障。
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