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國產(chǎn)MEMS壓力傳感器角力高端應用市場

發(fā)布時間:2011-04-08

機遇與挑戰(zhàn):
  • 壓力傳感器行業(yè)加快了壓阻式替代步伐
  • MEMS技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術(shù)主流

隨著測量技術(shù)的飛速發(fā)展,對傳感器提出了更高的要求,尤其在高精度的流體動力學測試中,要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài),提高測量的精度,還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形,傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來,壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐,MEMS(Micro electronic mechanical systems微機電系統(tǒng))技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術(shù)主流。

受自身技術(shù)條件限制, 國內(nèi)大多數(shù)壓力傳感器企業(yè)多把國內(nèi)外產(chǎn)硅MEMS OEM產(chǎn)品作為壓力傳感器的關(guān)鍵部件,組裝后再行銷售,進入行業(yè)的門檻較低,資金運轉(zhuǎn)快。但對有高難度要求的高檔傳感器,企業(yè)既買不到相應的硅MEMS OEM產(chǎn)品,又不具備相應設(shè)計與特殊制作技術(shù),因此基本無法進入這一細分市場。昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司充分利用其技術(shù)積累,從核心元件關(guān)鍵技術(shù)做起,基于MEMS微機械加工技術(shù),自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小,固有頻率更高;此外,利用硅優(yōu)良的彈性力學特性,尤其是極高的楊氏彈性模量,加之低的電橋內(nèi)阻抗,不僅利于獲得高頻響,而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線,可廣泛應用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領(lǐng)域。微型壓力傳感器產(chǎn)品在雙橋傳感器公司已形成系列化,主要產(chǎn)品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm,涵蓋了對水、氣、油等多種介質(zhì)的測量。該產(chǎn)品因技術(shù)領(lǐng)先性已經(jīng)榮獲2010年度中國電子學會電子信息科學技術(shù)獎三等獎。

汽車電子、新型數(shù)字消費電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術(shù)的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn),MEMS傳感器的市場機會逐步顯現(xiàn)。昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司的基于MEMS技術(shù)的汽車壓力傳感器已批量應用于汽車電子產(chǎn)業(yè)。


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